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    主營產品:分光光度計,紫外可見分光光度計
    材料鍍膜厚度影響
    點擊次數:2682  更新時間:2020-08-11

     

     

    厚度影響因素

    1。基片材料與靶材的晶格匹配程度

    2、基片表面溫度

    3. 蒸發功率,速率

    4. 真空度

    5. 鍍膜時間,厚度大小。

    組分均勻性

    蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。

    晶向均勻性

    1。晶格匹配度

    2 基片溫度

    3。蒸發速率

    鍍膜材料

    編輯

    氧化物

    一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。

    氟化物

    氟化釹NbF3,氟化鋇BaF2,氟化鈰CeF3,氟化鎂MgF2,氟化鑭LaF3,氟化釔YF3,氟化鐿YbF3,氟化鉺ErF3等高純氟化物。

    其它化合物

    硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫化鎘CdS等真空鍍膜材料。

    金屬鍍膜材料

    高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純鉭TA,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,銅銦鎵合金CuInGa,銅銦鎵硒合金CuInGaSe,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料

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